主要完成人
苑伟政（西北工业大学）、常洪龙（西北工业大学）、马炳和（西北工业大学）、乔大勇（西北工业大学）、吕湘连（西北工业大学）、虞益挺（西北工业大学）
介绍
该项目提出了突出MEMS原理、功能、结构复杂多变设计特征的，任意流程、创成式的泛结构化设计模式，在国内率先研制出具有自主知识产权的集成设计工具(MFMSGarden)，满足了微机电产品多样化的发展需求，为MEMS设计技术的发展提供了新的理论基础和有效手段。主要技术内容包括：1．任意流程的设计方法。提出了多层级、多入口的任意流程MEMS设计方法，实现了系统级、器件级与工艺级设计仿真模型的自动转换，为机械、电子等不同行业工程师的多样化器件柔性设计提供了重要保障。2．微尺度多域耦合分析技术。建立了三维多端口组件网络系统级模型，解决了微尺度下力、电、光、热、流多域耦合建模的关键问题，实现了MEMS的参数化快速建模分析，显著提高了MEMS的设计水平和效率。3．非规则复杂结构创成式设计。提出了大规模、非线性微结构的数值与解析异构模型求解方法，解决了大规模光栅梁、高密集度阻尼孔等复杂结构的建模难题，实现了非规则微结构的创成式设计。
该成果使中国继美国、法国之后进入能够自主开发大型MEMS设计工具的先进国家行列。研究成果已在航空、航天、兵器、精密仪器、通讯等领域的40多家单位推广应用，设计研制出微陀螺、微变形镜、微型可编程光栅、微谐振式压力传感器、微剪应力传感器、微型合成射流器等9类22种34个规格MEMS器件。特别是为国家重点工程提供定制式设计，研制出的器件分别用于“大飞机工程”分布式气动测量，“空天飞行器”近壁流动测量，“歼十”战机导航系统，以及“新一代战机”气动隐身一体化等，产生了重大的社会效益。
